Product Information
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die KathodenzerstAubung, teilchengestA1/4tzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).Product Identifiers
PublisherSpringer-Verlag Berlin AND Heidelberg Gmbh & Co. KG
ISBN-139783540622666
eBay Product ID (ePID)91197310
Product Key Features
SubjectEngineering & Technology
Publication Year1997
Publication NameVakuumbeschichtung: Band 2: Verfahren Und Anlagen
LanguageEnglish, German
TypeTextbook
AuthorKlaus Rc6ll, Gerard Kienel, Klaus Rvll, Klaus Rall
SeriesVdi-Buch
FormatHardcover
Additional Product Features
Country/Region of ManufactureGermany
EditorKlaus Rc6ll, Klaus Rall, Klaus Rvll, Gerard Kienel